Frame Cassette 法蘭卡匣/晶圓卡匣
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產品說明
高溫製程用金屬晶舟盒
產品應用於100 / 150 / 200mm Wafer (可依客戶需求訂製)
規格:
- 應用於高溫製程
- 產品輕量化方便使用者拿取
- 結構安全且耐用
- 損壞率低
產品應用於100 / 150 / 200mm Wafer (可依客戶需求訂製)
- 規格符合 SEMI 標準規範
- 材質符合歐盟Rohs檢驗規
規格:
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25Slot / 13Slot
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鎖附螺絲款 / 無螺絲款
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可加裝晶圓防落機構
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